壓阻式壓力傳感器工作原理及特點(diǎn) |
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發(fā)布時(shí)間:2012/11/7 14:36:39 | |
壓阻式壓力傳感器工作原理: 壓阻式壓力傳感器采用集成電路工藝技術(shù),在硅片上制造出四個(gè)等值的薄膜電阻并組成電橋電路,當(dāng)不受力作用時(shí),電橋處于平衡狀態(tài),無(wú)電壓輸出;當(dāng)受到壓力作用時(shí),電橋失去平衡而輸出電壓,且輸出的電壓與壓力成比例。 壓阻式壓力傳感器具有以下特點(diǎn): ①壓阻式壓力傳感器的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變式壓力傳感器的靈敏度系數(shù)要大50-100倍。有的時(shí)候壓阻式壓力傳感器的輸出不需要放大器就可直接進(jìn)行測(cè)量。 ②由于它采用集成電路工藝加工,因而結(jié)構(gòu)尺寸小,重量輕。 ③壓力分辨率高,它可以檢測(cè)出像血壓那么小的微壓。 ④頻率響應(yīng)好,它可以測(cè)量幾十千赫的脈動(dòng)壓力。 ⑤由于傳感器的力敏元件及檢測(cè)元件制在同一塊硅片上,所以它工作可靠,綜合精度 高,且使用壽命長(zhǎng)。 ⑥由于采用半導(dǎo)體材料硅制作,傳感器對(duì)溫度比較敏感,如不采用溫度補(bǔ)償,其溫度誤差較大。 廣州中泰自控設(shè)備有限公司JOY原創(chuàng),轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處 |