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Setra 的加熱700 系列是一款高度精準的真空壓力變送器，其配備一個積分加熱傳感器，在臨界應(yīng)用中可防止傳感器上的氣體冷凝和污染。加熱700 系列擁有以下型號：764 型（溫控至45℃）、769 型（溫控至100℃）以及774 型（溫控至123℃）。所有三個型號在1 Torr 到1000 Torr（全量程）的壓力范圍內(nèi)的讀數(shù)精確度達到±0.15%，全量程分辨率優(yōu)于0.005%。764 型具有50 和100mTorr 的全量程，而769 型具有100 mTorr 的全量程。

Setra　西特 加熱型壓力傳感器700系列應(yīng)用：

●等離子沉積 
●干式蝕刻 
●濺射/PVD/RTP 
●工業(yè)CVD 
● LPCVD 
●晶體生長/ 冷凍干燥機

加熱700 系列的工作電壓為±15 VDC 起，VDC 信號輸出為0-10，此輸出與壓力成線性，與氣體構(gòu)成無關(guān)。同時，提供用于電氣終端的15 針D 連接器以及一系列精選的壓力和真空接頭。防腐的Inconel® 適用于所有潤濕材料，這使得加熱700 系列幾乎對防腐媒介不敏感。